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電子氣體的特性你都知道嗎?

 1、砷烷 ( Arsine ):分子式:AsH3 分子量:77.946;熔點:-113.5 沸點:-62.5;氣體密度 (-62.48,101.325X10-3Mpa):4.930kg/m3;臨界溫度:99.9 臨界壓力:6.6875MPa;純度:99.999%;包裝:鋼瓶;雜 質 CH4 N2 O2 CO2 CO C2H6 C3H8 H2O PH3;含量<(ppm) 1 1 1 1 0.5 1 1 0.5 2 

    2、氯氣 ( Chlorine ):分子式:Cl2 分子量:70.906;熔點:-100.98 沸點:-34.05;氣體密度 (20,101.325X10-3Mpa):2.980kg/m3;臨界溫度:144 臨界壓力:7.71MPa;純度:99.999%;包裝:鋼瓶;雜 質 N2 O2 CO CO2 H2 OHC H2O Total Metals;含量<(ppm) 1 1 1 1 0.1 0.5 1 0.5 

    3、二氯硅烷 ( Dichlorosilane ):分子式:SiH2Cl2 分子量:101.010;熔點:-122.0 沸點:8.2;氣體密度 (25,101.325X10-3Mpa):4.168kg/m3;臨界溫度:176 臨界壓力:4.676MPa;純度:99.9%;包裝:鋼瓶;雜 質 O2 N2 CO CO2 CH4 SiH3Cl SiHCl3 SiCl4;含量<(ppm) 1 1 1 1 1 1000 500 500 

    4、二氟甲烷 ( Difluoromethane ):分子式:CH2F2 分子量:52.024;沸點:-51.65;氣體密度 (0,0.81Mpa):21.870kg/m3;臨界溫度:78.4 臨界壓力:5.83MPa;純度:99.99%;包裝:鋼瓶;雜 質 O2 N2 CO2 H2 Acidity H2O;含量<(ppm) 10 40 5 50 0.5 30 

    5、鍺烷 ( Germane ):分子式:GeH4 分子量:76.62;沸點:-88.4;氣體相對密度 (Air=1):2.63;臨界溫度:34.8 臨界壓力:5.552MPa;純度:99.999%;包裝:鋼瓶;雜 質 N2 O2 THC CO2 CO+Ge3H8 H2O GeH2CH4O GeClH4;含量<(ppm) 2 0.5 1 2 1 1 5 5 

    6、六氟乙烷 ( Hexafluoroethane ):分子式:G2F6 分子量:138.012;熔點:-100.7 沸點:-78.2;氣體密度 (20,101.325X10-3Mpa):5.700kg/m3;臨界溫度:19.7 臨界壓力:2.98MPa;純度:99.99%;包裝:鋼瓶;雜 質 Air CO CO2 H2O OHC THC Acidity;含量<(ppm) 30 1 1 3 50 1 0.7 

    7、乙硅烷 ( Disilane ):分子式:Si2H6 分子量:62.22;臨界溫度:-132.7;純度:99.8%;包裝:鋼瓶;雜 質 THC H2 有機硅 CO2 CO O2 H2O 三硅化物 SiF4 總氯;含量<(ppm) 10 100 50 1 1 1 1 1000 1000 3 

    8、氯化氫 ( Hydrogen Chloride ):分子式:HCl 分子量:36.461;熔點:-114.2 沸點:-85.0;氣體密度 (25,101.325X10-3Mpa):1.500kg/m3;臨界溫度:51.4 臨界壓力:8.258MPa;純度:99.999%;包裝:鋼瓶;雜 質 H2O N2 02 THC CO2 H2;含量<(ppm) 1 0.5 0.5 0.1 1 1 

    9、三氟化氮 ( Nitrogen Trifluoride ):分子式:NF3 分子量:71.002;熔點:-206.79 沸點:-129.0;氣體密度 (20,101.325X10-3Mpa):2.960kg/m3;臨界溫度:-39.3 臨界壓力:4.53MPa;純度:99.99%;包裝:鋼瓶;雜 質 H2O N2 O2 CO2 CO CF4 SF6 N2O Acidity;含量<(ppm) 10 10 5 5 5 40 10 5 1 

    10、四氟化硅 ( Silicon Tetrafluoride ):分子式:SiF4 分子量:104.08;熔點:-95.7 沸點:-90.2;氣體密度 (20,101.325X10-3Mpa):4.370kg/m3;臨界溫度:-14.2 臨界壓力:3.715MPa;純度:99.999%;包裝:鋼瓶;雜 質 N2 O2 CO2 CO THC As,P,B;含量<(ppm) 3 1 1 0.5 10 0.5 

    11、六氟化硫 ( Sulfur Hexafluoride ):分子式:SF6 分子量:146.054;熔點:-50.8 沸點:-63.7;氣體密度 (0,101.325X10-3Mpa):6.520kg/m3;臨界溫度:45.5 臨界壓力:3.769MPa;純度:99.99%;包裝:鋼瓶;雜 質 CF4 Air Acidity THC H2O;含量<(ppm) 30 30 0.5 3 5 

    12、六氟化鎢 ( Tungsten Hexafluoride ):分子式:WF6 分子量:297.92;熔點:2.5 沸點:17.5;氣體密度 12.7kg/m3;臨界溫度:169.8 臨界壓力:4.2658MPa;純度:99.999%;包裝:鋼瓶;雜 質 CF4 N2 O2 CO2 CO SiF2 HF SF6 Total Metals;含量<(ppm) 1 5 1 1 0.5 1 10 1 1 

    13、四氟化碳 ( Carbon Tetrafluoride ):分子式:CF4 分子量:88.005;熔點:-186.8 沸點:-128.0;氣體密度 (0,101.325X10-3Mpa):3.946kg/m3;臨界溫度:-45.6 臨界壓力:3.739MPa;純度:99.99%;包裝:鋼瓶;雜 質 H2O N2 O2 C-F CO2 HF;含量<(ppm) 5 20 5 15 5 0.1 

    14、硅烷 ( Silane ):分子式:SiH4 分子量:32.118;熔點:-185 沸點:-111.5;氣體密度 (0,0.1Mpa):1.420kg/m3;臨界溫度:-3.4 臨界壓力:4.843MPa;純度:99.9999%;包裝:鋼瓶;雜 質 CH4 N2 O2 CO2 CO T-Cl H2O H2 AsH3 H2S PH3;含量<(ppm) 0.1 1 0.5 0.1 0.1 0.5 0.5 50 1X10-3 1X10-3 1X10-4


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